Съдържание:
Определение - Какво означава нанолитография?
Нанолитографията е клон на нанотехнологиите и наименованието на процеса за отпечатване, писане или офорт на микроскопично ниво с цел създаване на невероятно малки структури. Този процес обикновено се използва за създаване на по-малки и по-бързи електронни устройства като микро / наночипове и процесори. Нанолитографията се използва главно в различни сектори на технологията от електронни до биомедицински.Техопедия обяснява нанолитографията
Нанолитографията е широк термин, използван за описание на различни процеси за създаване на наноразмерни модели на различни среди, най-често срещаният от които е силицийът на полупроводниковия материал. Преобладаващото предназначение на нанолитографията е свиването на електронните устройства, което позволява повече електронни части да бъдат натъпкани в по-малки пространства, т.е. Това също увеличава времето за работа и реакция, защото електроните трябва да изминават само много къси разстояния.
Някои техники, използвани в нанолитографията, са следните:
- Рентгенова литография - Изпълнява се чрез подход за близост до печат и разчита на рентгенови лъчи в близост до полето при дифракция на Френел. Известно е, че разширява оптичната си разделителна способност до 15 nm.
- Двойно рисуване - Метод, използван за увеличаване на разделителната способност на литографския процес чрез отпечатване на допълнителни шарки между интервали от вече отпечатани шарки в същия слой.
- Литография с електронно-лъчево директно записване (EBDW) - Най-разпространеният процес, използван в литографията, който използва лъч от електрони за създаване на модели.
- Екстремална ултравиолетова (EUV) литография - форма на оптична литография, при която се използват ултракоротките светлинни дължини на вълната от 13, 5 nm.
